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慢走丝加工中，机床是构成整体加工工艺关键的部分，机床的好坏是影响金属工件精度的关键因素之一，要想保障加工精度，首先机床的性能要好。发展到现代，我国的慢走丝加工技术以及相关的设备都有了很大的提升，慢走丝加工所使用的机床一般都采用高硬度耐磨材质所打造，以良好的机身为基础，附加手动液压润滑油的注入，通过各油管分流到各导轨以达到润滑，减小摩擦系数的效果，每轴2条；也有机床采用气体静压导轨，此导轨的摩擦系数接近于零。慢走丝加工机床性能的提升，在很大的程度上保障了工件的精度。
为了保证高精度的加工，采用了许多技术措施来提高主机精度：1.控制温度。采用水温冷却装置，使机床内部温度与水温相同，减小了机床的热变形。2.采用直线电机。响应度高，精密定位可实现0.1μm当量的控制，进给无振动，无噪音，提高放电频率，保持稳定放电，两次切割Ry5 μm。3.采用陶瓷、聚合物人造花岗岩制件，其热惯性比铸铁大25倍，降低温度变化对切割精度的影响。4.采用固定工作台、立柱移动结构，提高工作台承重，不受浸水加工和工件重量变化的影响。5.采用浸入式加工，降低工件热变形。6.电机伺服，闭环电极丝张力控制。7.高精度对刀：采用电压调制对刀电源。对刀精度可达±0.005 mm，不损伤工件，不论干湿。